金属材料常见渗氮缺陷及其原因主要有以下几方面：

(1)硬度偏低。生产实践中，工件渗氮后其表面硬度有时达不到工艺规定的要求，轻者可以返工，重者则造成报废。造成硬度偏低的原因通常有：

1)设备方面。如系统漏气造成氧化。

2)材料方面。如材料选择不合理。

3)前期热处理。如基体硬度太低，表面脱碳严重等。

4)工件预处理不彻底。如进炉前的清洁方式不当及清洁度不够。

5)工艺方面。如渗氮温度过高或过低，时间短或氮浓度不足等。

(2)硬度和渗层不均匀。主要原因有：装炉方式不合理，气压调节不当，渗氮处理期间温度不均匀，炉内气流不合理。

(3)渗氮后零件变形过大。虽然变形是难以避免的，但是对易变形件，采取以下措施有利于减小变形：

1)渗氮前应进行稳定化处理。

2)渗氮过程中的升、降温速度应缓慢。

3)保温阶段尽量使工件各处的温度均匀一致，对变形要求严格的工件，在工艺范围内尽可能采用较低的渗氮温度。

(4)外观颜色有差别。不同材质的零件经渗氮处理后表面颜色是略有区别的，零件出炉后首先用肉眼检查外观质量，钢件经渗氮处理后表面通常呈银灰（蓝黑）色或暗灰色，钛及钛合金件表面应呈金黄色。

(5)脉状氮化物。渗氮（特别是离子渗氮）易出现脉状氮化物，即扩散层与表面平行走向呈白色波纹状的氮化物。一般认为与合金元素在晶界偏聚及氮原子的扩散有关，因此，控制合金元素偏聚的措施均有利于减轻脉状氮化物的形成。工艺参数方面，渗氮温度越高，保温时间越长，越易促进脉状组织的形成。如工件的棱角处，因渗氮温度相对较高，脉状组织比其他部位严重得多。