真空热处理炉是在真空状态下对工件进行加热和冷却的热处理炉，具有无氧化、无脱碳、高效率、低消耗和无污染等优点，在生产中的应用日益广泛。

通常，按炉子结构与加热方式，把真空炉分为外热式和内热式两大类。实际生产中，主要应用的是内热式真空热处理炉。内热式真空热处理炉有单室、双室和三室等类型。其结构比外热式真空热处理炉复杂，使用温度也高，可达1300℃，可实现快速加热和冷却，有利于提高热处理质量和生产效率。内热式真空热处理炉主要用于真空淬火、退火、回火、渗碳等。其中以气淬真空炉和油淬真空炉应用最广。

真空炉加热与普通电炉加热不同，有其自身的特点。真空炉加热工件时，由于炉内压力低，热传导主要靠辐射传热，很少有对流换热，所以工件在真空炉内的加热速度相对较慢，因而加热时间较长。为了缩短加热时间，提高加热速度，有的真空炉内还装有增强对流传热的风扇机构。风扇机构又分为单循环和双循环两种方式，单循环方式即对流传热和对流冷却共用一套风扇机构，双循环方式的对流传热和对流冷却为相互独立的两套风扇机构。