防止热处理变形的途径主要是缓冷、缓热。加热速度太快，会出现急热热应力而引起变形。因此加热应力求均匀。放慢加热速度，采用多次预热能收到良好效果。

在高频淬火中，一般地说，加热时间较短，加热层较浅，因而产生的歪扭少。若采用预先整体预热，适当地选择加热温度分布也是有效的。

另外，还应注意防止预热时产生的自重扭曲以及氧化、脱碳等现象发生。