在常压下碳的脱氧能力与硅相当，而在10²Pa的真空下，碳的脱氧能力超过铝达到与锆相当的水平，这是真空提高了碳的脱氧能力。

碳与氧的化合反应表达式为：

[C]+[O]=CO(g)

碳的氧化反应（即脱氧反应）产物为气体CO。在真空感应炉内，反应产生的CO气体从钢液中逸出后，不断地被真空泵抽出炉外。炉内空间CO数量很少，脱氧反应继续向右进行。如果真空泵不停地抽出炉内气体，脱氧反应就不停地向右进行，钢液含氧量会继续降低。这就是真空能提高碳脱氧能力的简单道理。

这种脱氧方法，不会产生污染钢液的脱氧产物，是生产纯净钢的重要方法。真空下碳脱氧的重要性就在于此。