碳氮共渗常用的共渗温度为820～880℃（低碳钢及低合金钢为840～860℃）。碳氮共渗后的热处理常用以下几种工艺方法。

(1)直接淬火+低温回火

1)工艺特点。碳氮共渗后由共渗温度(820～860℃)直接淬火，然后进行低温回火160～200℃×2～3h。

2)工艺适用范围。工艺简单适用于中、低碳钢及低合金钢，可获得满意的表面及心部组织。一般选择油淬（或水淬）。

(2)分级淬火+低温回火

1)工艺特点。碳氮共渗后由共渗温度820～860℃直接在110～200℃热油或碱浴中分级淬火1～15min后空冷，再进行160～200℃低温回火。

2)工艺适用范围。工件变形小，适用于尺寸要求较严格的合金钢件。

(3)有次加热淬火+低温回火

1)工艺特点。碳氮共渗后空冷或在冷却坑中缓冷，然后重新加热淬火+低温回火热处理。

2)工艺适用范围。适用于共渗后需机械加工或因各种原因不宜直接淬火的工件。