量具用钢的热处理关键是要保证量具具有高的尺寸稳定性。淬火应力的松弛，马氏体的分解，残留奥氏体的转变，是引起量具在保存和使用过程中尺寸变化的因素。因此，一般量具热处理的特点是：淬火后进行深冷处理（温度在-50~-80℃），使残留奥氏体转变为马氏体，然后低温回火(150~160℃)，以减少淬火应力，保证较高的硬度，并使淬火马氏体转变为回火马氏体。为使量具尺寸进一步稳定，在精磨后再进行一次时效处理。

量具钢热处理的主要特点是在保持高硬度与高耐磨性的前提下，尽量采取各种措施，使量具在长期使用中保持尺寸稳定。量具在使用过程中随时间延长而发生尺寸变化的现象称为量具的时效效应。这是因为：

1)用于制造量具的过共析钢，在淬火后含有一定数量残留奥氏体，残留奥氏体变为马氏体引起体积膨胀。

2)量具钢中马氏体在使用中继续分解，正方度降低引起体积收缩。

3)残余内应力的存在和重新分布，使弹性变形部分地转变为塑性变形，引起尺寸变化。

因此，在量具的热处理加工中，应针对上述原因采用如下热处理措施：

1)调质处理。其目的是获得回火索氏体组织，以减少淬火变形和降低机械加工的表面粗糙度。

2)淬火和低温回火。量具钢为过共析钢。通常采用不完全淬火加低温回火处理，在保证硬度的前提下，尽量降低淬火温度并进行预热，以减少加热和冷却过程中的温差及淬火应力。量具的淬火方式为油冷(20~30℃)，不宜采用分级淬火和等温淬火。只有在特殊情况下才予以考虑。一般采用低温回火，回火温度为150~160℃，回火时间不应小于4~5h。

3)冷处理。高精度量具在淬火后必须进行冷处理。以减少残留奥氏体量。从而增加尺寸稳定性。温度一般为-70~~80℃，并在淬火冷却到室温后立即进行，以免残留奥氏体发生陈化稳定。

4)时效处理。为了进一步提高尺寸稳定性，淬火、回火后，再于120~150℃进行24~36h时效处理，这样可消除残余内应力，大大增加尺寸稳定性而不降低其硬度。