真空热处理是指将零件在真空状态下，进行加热、保温和冷却的工艺方法。是随着航天技术的发展而迅速发展起来的新技术，也是近几十年来在热处理设备中具有前途的一种，它可替换盐浴炉、电阻炉和燃气炉。真空炉是依据电极的辐射作用实现对工件的加热的，辐射加热速度比较慢，因此工件的内外加热较为均匀，工件的变形小。由于真空炉内气压很低，氧气的含量对工件的铁元素氧化不起作用，因此避免了工件在真空炉加热过程中出现氧化和脱碳现象的发生，保持了工件表面的原始状态，工件清洁和光亮。 

真空炉不仅用于普通的工件的淬火、回火、退火和正火．而且可进行化学热处理如真空渗碳（包括真空碳氮共渗）、真空离子渗碳和辉光离子渗氮等，同时可完成金属的烧结、钎焊和真空镀膜等，资料介绍真空渗碳具有渗层均匀和重现性好、表面清洁光亮和消耗的气体少，节约了气源。