(1)晶体结构

它反映了原子在空间中的排列情况，如果排列的密度大，则原子迁移需要克服的阻力增大，此时扩散系数减小，原子的扩散会异常地困难。而金属中出现空位或点缺陷，则原子扩散的阻力减小，原子的迁移速度加快，扩散速度增大。实践证明面心立方晶格与体心立方晶格相比排列密度大，因此γ-Fe的扩散系数比α-Fe小。

(2)原子的尺寸

在固溶体中溶质与溶剂的原子尺寸差越大，则畸变能增大，使原子处于不稳定的状态，原子的扩散阻力减小，从而加快了扩散的速度。

(3)扩散系数和温度

原子的扩散规律为随温度的升高扩散系数增大，也就是说温度升高，扩散速度加快。

(4)扩散系数与浓度

扩散系数一般随组元浓度的变化而变化，不同元素的变化规律是不同的，对能降低熔点的组元而言，扩散系数随低熔点组元的增加而增加。

(5)合金元素

合金元素的加入将直接影响到扩散系数，一般而言，加入与碳亲和力强的元素，形成的稳定碳化物阻止扩散的进行；反之则增加扩散速度。

(6)晶粒的影响

一般而言晶粒越细则晶界面越多，晶界处的畸变能越大，使原子的晶界扩散速度加快。